MARC details
| 000 -CABECERA |
|---|
| campo de control de longitud fija |
02399nam a22003255i 4500 |
| 001 - NÚMERO DE CONTROL |
|---|
| campo de control |
103166 |
| 003 - IDENTIFICADOR DEL NÚMERO DE CONTROL |
|---|
| campo de control |
DE-He213 |
| 005 - FECHA Y HORA DE LA ÚLTIMA TRANSACCIÓN |
|---|
| campo de control |
20230102113118.0 |
| 007 - CAMPO FIJO DE DESCRIPCIÓN FÍSICA--INFORMACIÓN GENERAL |
|---|
| campo de control de longitud fija |
cr nn 008mamaa |
| 008 - DATOS DE LONGITUD FIJA--INFORMACIÓN GENERAL |
|---|
| campo de control de longitud fija |
150102s2015 gw | s |||| 0|eng d |
| 020 ## - NÚMERO INTERNACIONAL ESTÁNDAR DEL LIBRO |
|---|
| Número Internacional Estándar del Libro |
9783662443958 |
| 024 7# - IDENTIFICADOR DE OTROS ESTÁNDARES |
|---|
| Número estándar o código |
10.1007/978-3-662-44395-8 |
| Fuente del número o código |
doi |
| 050 #4 - SIGNATURA TOPOGRÁFICA DE LA BIBLIOTECA DEL CONGRESO |
|---|
| Número de clasificación |
TK7875 |
| Número de documento/Ítem |
.G389 2015 EB |
| 040 ## - FUENTE DE LA CATALOGACIÓN |
|---|
| Centro catalogador/agencia de origen |
ES-MaUEC |
| Lengua de catalogación |
spa |
| 100 1# - ENTRADA PRINCIPAL--NOMBRE DE PERSONA |
|---|
| Nombre de persona |
Gatzen, Hans H |
| Término indicativo de función/relación |
autor. |
| Código de función/relación |
aut |
| -- |
http://id.loc.gov/vocabulary/relators/aut |
| Enlace |
<a href="http://viaf.org/viaf/132145857816723020512/">http://viaf.org/viaf/132145857816723020512/</a> |
| 245 10 - MENCIÓN DE TÍTULO |
|---|
| Título |
Micro and Nano Fabrication: |
| Resto del título |
Tools and Processes |
| Mención de responsabilidad, etc. |
by Hans H. Gatzen, Volker Saile, Jürg Leuthold. |
| 264 #1 - PRODUCCIÓN, PUBLICACIÓN, DISTRIBUCIÓN, FABRICACIÓN Y COPYRIGHT |
|---|
| Producción, publicación, distribución, fabricación y copyright |
Berlin, Heidelberg |
| Nombre del de productor, editor, distribuidor, fabricante |
Springer International Publishing |
| Fecha de producción, publicación, distribución, fabricación o copyright |
2015 |
| 300 ## - DESCRIPCIÓN FÍSICA |
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| Extensión |
1 recurso en línea (XXVI, 519 páginas 357 ilustraciones, 54 ilustraciones a color.) |
| 490 0# - MENCIÓN DE SERIE |
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| Mención de serie |
Engineering (Springer-11647) |
| 505 0# - NOTA DE CONTENIDO CON FORMATO |
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| Nota de contenido con formato |
Introduction-MEMS, a Historical Perspective -- Vacuum Technology -- Deposition Technologies -- Etching Technologies -- Doping and Surface Modification -- Lithography -- LIGA -- Nanofabrication by Self-Assembly -- Enabling Technologies I - Wafer Planarization and Bonding -- Enabling Technologies II - Contamination Control -- Device Fabrication - An Example. |
| 520 3# - SUMARIO, ETC. |
|---|
| Sumario, etc. |
For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. This book provides a comprehensive insight into the tools necessary for fabricating MEMS/NEMS and the process technologies applied. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control. |
| 650 #7 - PUNTO DE ACCESO ADICIONAL DE MATERIA--TÉRMINO DE MATERIA |
|---|
| 9 (RLIN) |
138689 |
| Término de materia o nombre geográfico como elemento de entrada |
Microelectrónica |
| Fuente del encabezamiento o término |
embne |
| 700 1# - PUNTO DE ACCESO ADICIONAL--NOMBRE DE PERSONA |
|---|
| Nombre de persona |
Saile, Volker |
| Término indicativo de función/relación |
autor. |
| Código de función/relación |
aut |
| -- |
http://id.loc.gov/vocabulary/relators/aut |
| Número de control del registro de autoridad o número normalizado |
http://id.loc.gov/authorities/names/nb2009001494 |
| Enlace |
<a href="http://viaf.org/viaf/63544381/">http://viaf.org/viaf/63544381/</a> |
| 700 1# - PUNTO DE ACCESO ADICIONAL--NOMBRE DE PERSONA |
|---|
| Nombre de persona |
Leuthold, Jürg |
| Término indicativo de función/relación |
autor. |
| Código de función/relación |
aut |
| -- |
http://id.loc.gov/vocabulary/relators/aut |
| Enlace |
<a href="http://viaf.org/viaf/3327492/">http://viaf.org/viaf/3327492/</a> |
| 776 08 - ENTRADA/ENLACE A UN FORMATO FÍSICO ADICIONAL |
|---|
| Información de relación/Frase instructiva de referencia |
Edición impresa: |
| Número Internacional Estándar del Libro |
9783662443965 |
| 776 08 - ENTRADA/ENLACE A UN FORMATO FÍSICO ADICIONAL |
|---|
| Información de relación/Frase instructiva de referencia |
Edición impresa: |
| Número Internacional Estándar del Libro |
9783662443941 |
| 776 08 - ENTRADA/ENLACE A UN FORMATO FÍSICO ADICIONAL |
|---|
| Información de relación/Frase instructiva de referencia |
Edición impresa: |
| Número Internacional Estándar del Libro |
9783662508268 |
| 856 40 - LOCALIZACIÓN Y ACCESO ELECTRÓNICOS |
|---|
| Identificador Uniforme del Recurso |
https://go.openathens.net/redirector/universidadeuropea.es?url=https://doi.org/10.1007/978-3-662-44395-8 |
| Nota pública |
Acceso a este recurso digital (usuarios Universidad Europea de Madrid) |
| 998 ## - DATOS ESTADÍSTICOS |
|---|
| Fecha de catalogación |
03/2019 |
| Tipo de materia |
E-book |
| Catalogador |
Vanesa Moruno |
| Idioma |
eng |
| País |
gw |
| h |
0 |
| 999 ## - NÚMEROS DE CONTROL DE SISTEMA (KOHA) |
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| -- |
1 |